1-6です。
It is hard to explain my feeling once I did finally set off.
この文は短く、全部が見えています。分解はさすがに必要なさそうです。
It は、形式主語です。真主語は to explain my feeling となります。
「気持ちを説明するのは難しい」、つまり「うまく説明できないのでございます」もありかもしれません。
once は、接続詞ですね。辞書には「いったん~すると」「~するとすぐ」と出でいました。once 以下は、主語と動詞が備わっている完全な節になっており、動詞が過去形ですから、主節より以前の出来事ということになります。
set off は「でかける」です。take off の親戚でしょうか。
finally は「ついに」よりも、「やっと」という感じですね。無人の館になることが心配で、念には念を入れて、何度も何度も見回って、やっとこさ で出発することができたスチーブンスです。
それでも、まだ気持ちは落ち着かないのですね。
というところで、
「やっとこさ出発したとはいえ、私の気持ちはうまく説明できないのでございます」
としました。
普通はドライブに行くとなれば、もたもたせずにすぐに家を出るものですが。
スチーブンスはやはり執事なのです。